1.利用(yong)离子源进(jin)行表面处(chu)理(li)，适(shi)用(yong)于真空镀膜前清(qing)洗或镀膜过程辅助(zhu)沉积(ji)
2.适合于多元化的研(yan)究和产品运(yun)用。
电源效率≥90%
提升气体离化率及活化度，与金属离子(zi)高效(xiao)结合(he)
电压电流调整范围大，稳(wen)定性高
强大的(de)抑弧(hu)功能，有效抑制异常(chang)放(fang)电
| 项目 | 型号 | |||
| DI-10 | DI-20 | DI-30 | DI系列电源 | |
| 输入电压 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | |||
| 输出频率 | 10KW | 20KW | 30KW | 10KW-100KW可定制 |
| 常规工作电流 | 2A-10A | 3A-20A | 4A-30A | 2A-100A可定制 |
| 常规工作电压 | 100V～1000V | |||
| 工作电流 | 2A-12.5A | 3A-25A | 4A-37.5A | |
| 工作电压 | 100V-800V（空载电压＞800V） | |||
| 工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | |||
| 输出频率 | 40kHz～80kHz | |||
| 占空比 | 80% | |||
| 调节精度 | ≤1% | |||
| 工作效率 | ≥90% | |||
| 响应时间 | ＜500ns | |||
| 通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 | |||
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | |||
| 尺寸（mm） | 710（D）×435（W）×225（H） | 710（D）×435（W）×225（H） 810（D）×435（W）×280（H） | ||
| 安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护，接地保护，漏电保护 | |||
