改善膜层(ceng)质(zhi)量，提高膜层(ceng)均匀性(xing)
具有(you)效(xiao)率高、运行稳定等优(you)点
增(zeng)加膜层与基(ji)体结合力，提高沉积(ji)速率
主动释放工件异常(chang)(chang)电(dian)(dian)荷(he)积累，有效抑制工件表面异常(chang)(chang)放电(dian)(dian)
改变沉积规(gui)则，调整膜层颜色
| 项目 | 型号 | ||||
| BP-10 | BP-20 | BP-30 | BP-40 | BP系列电源 | |
| 输入电压 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | ||||
| 输出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 10KW-100KW可定制 |
| 工作电流 | 11A | 22A | 33A | 44A | 2A-100A可定制 |
| 工作电压 | 80V-800V/10V-100V | ||||
| 输出频率 | 10kHz～40kHz | ||||
| 占空比 | 10%～80%（最大94%） | ||||
| 空载电压 | ＞800V | ||||
| 调节精度 | ≤1% | ||||
| 工作效率 | ≥90% | ||||
| 响应时间 | ＜500ns | ||||
| 通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 | ||||
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | ||||
| 尺寸(mm) | 710(D)×435(W)×225(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | |||
| 安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护，接地保护，漏电保护 | ||||
