双极性对称磁控溅(jian)射(she)靶材
半导体工(gong)艺(yi)
手机外壳
触摸面板(ban)
钟表(biao)、3C及其(qi)他产品
具备普通中频电源所有(you)功能
镀膜速(su)度提升(sheng)20%以上,镀膜质量(liang)及均(jun)匀性均(jun)有(you)所上升(sheng),色差(cha)更小,亮度优于(yu)普通中频电源
针对不同(tong)靶材灵活设定频(pin)率,帮助客户最优化(hua)定制抑弧性(xing)能(neng)、膜层性(xing)能(neng)、沉积速率
平衡靶(ba)材溅射速率,延长(zhang)生产周期,节省靶(ba)材成本。还(hai)可以实(shi)现共(gong)溅射功能(neng),溅射不同靶(ba)材
超宽的阻抗匹配范围,适合更多种(zhong)类靶材(cai),工艺窗口更宽
项目 | 型号 | ||||
BS-10 | BS-20 | BS-30 | BS-40 | BS系列电源 | |
输入电压 | 三相交流380V ±10%,50~60 Hz | ||||
输出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 10KW-100KW可定制 |
工作电流 | 2A-10A | 3A-20A | 5A-30A | 7A-40A | 2A-100A可定制 |
空载电压 | >1000V | ||||
工作电压 | 100V~1000V(可定制) | ||||
工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||
输出频率 | 20kHz~160kHz(常规频率:20kHz~40kHz) | ||||
波形 | 用户可调方波 | ||||
占空比 | 5%-94% | ||||
调节精度 | ≤1% | ||||
工作效率 | ≥90% | ||||
响应时间 | <500ns | ||||
通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 | ||||
冷却方式 | 风冷+水冷 | ||||
尺寸(mm) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | ||
安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护,接地保护,漏电保护 |