双极性(xing)对(dui)称磁控溅射靶材(cai)
半导体工(gong)艺(yi)
手机外壳(qiao)
触摸面板
钟表、3C及其他产品
具备普通中频电源所(suo)有功(gong)能
镀膜质量及均(jun)匀性均(jun)有(you)所上升，色差更小
针(zhen)对(dui)不同靶材灵(ling)活设定频率(lv)，帮(bang)助客(ke)户(hu)最优化定制抑弧性能(neng)、膜(mo)层性能(neng)、沉积速率(lv)
平(ping)衡靶(ba)(ba)材溅(jian)射速率(lv)，延长生产周(zhou)期，节省靶(ba)(ba)材成(cheng)本。还可以实现(xian)共溅(jian)射功能，溅(jian)射不同靶(ba)(ba)材
超(chao)宽的阻抗匹配范围，适(shi)合更多种类靶材(cai)，工艺窗(chuang)口更宽
| 项目 | 型号 | ||||
| SMS-10 | SMS-20 | SMS-30 | SMS-40 | SMS系列电源 | |
| 输入电压 | 三相交流380V ±10%，50～60 Hz | ||||
| 输出功率 | 10KW | 20KW | 30KW | 40KW | 10KW-100KW可定制 |
| 工作电流 | 2A-10A | 3A-20A | 5A-30A | 7A-40A | 2A-100A可定制 |
| 空载电压 | ＞1000V | ||||
| 工作电压 | 100V～1000V（可定制） | ||||
| 工作方式 | 恒压、恒流、恒功率 | ||||
| 输出频率 | 20kHz～160kHz（常规频率：20kHz～40kHz） | ||||
| 波形 | 用户可调正弦波 | ||||
| 占空比 | 5%-94% | ||||
| 调节精度 | ≤1% | ||||
| 工作效率 | ≥90% | ||||
| 响应时间 | ＜500ns | ||||
| 通讯方式 | RS485、光纤等通讯端口,MODBUS通讯协议 | ||||
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | ||||
| 尺寸(mm) | 390(D)×425(W)×142(H) | 710(D)×435(W)×225(H) | 710(D)×435(W)×225(H) 810(D)×435(W)×280(H) | ||
| 安全防护 | 过流、过压、短路、过热保护，接地保护，漏电保护 | ||||
